精密変位計測

デジタル機器の高性能化は部品の微細化をすすめ、今や生産現場においても高い精度を求められる時代となっています。それら半導体・液晶・ハードディスクの製造装置や検査装置の1nmオーダーの精密位置決めに不可欠な精密変位計測において、高安定性と高分解能を実現した静電容量式センサは多くの生産現場で活躍しています。さらに高精度が要求される研究開発用には、光ファイバー変位計は高感度0.04nmの測定を実現します。