ATW200

差動型光ファイバー変位計
 

製品概要

高速変位測定の決定版! 差動型光ファイバー変位計!

プローブを測定箇所に近づけるだけで、
高速微小変位の測定が可能です。
面倒なワークの反射率の補正は不要です。

ユニパルスの差動型光ファイバー変位計 ATW200
 

ATW200の特徴

■ 3MHzの高速応答!圧電素子や高速振動現象の解析に最適!
■ ナノメートルオーダーの分解能!速度ではなく真の変位測定なので、低周波の微小変位も見逃しません!
■ 可変ローパスフィルタ付で、最適な応答速度と分解能が得られます。
■ 簡単セッティング!ワークに接近させて、一度だけ反射率補正を行うだけ!


測定原理

ATW200は、差動型の光ファイバー変位計! 弊社独自の差動型の光ファイバーのアレンジ(特許取得済み)により、測定ワークの反射率の影響を抑えながらも、ナノメートルオーダーの高分解能と3MHzの高速応答を実現しました。

ATW200の原理-1

ファイバーバンドルは、図1のように測定端に配置された投光ファイバー、受光ファイバーA、受光ファイバーBを反対側で、3又に分岐させてあります。投光ファイバーに、光源からの光を斜めに入射させると、測定端面から、図2のように光が射出し、測定面で反射して、受光ファイバーに入射します。この時、反射光はリング状になり、その径が測定ギャップに応じて変化し、受光ファイバーAとBに入射する光量PA,PBは、図3のように変化します。和信号のPA+PBは、全反射光量で、差信号PB-PAは、ギャップに応じて図4のように変化します。差信号を和信号で除した信号は、測定対象物の反射率に無関係となります(図5)。

ATW200の原理-2

アプリケーション例

圧電素子の振動測定、高速振動現象の解析、鏡面回転体の振れ測定、走査プローブ顕微鏡のプローブ変位測定等に最適です。

ATW200アプリケーション例


 

仕様

アンプユニット
型式 ATW200
方式 差動型光ファイバー方式
応答性(Hz)
設定応答周波数
100、1K、10K、100K、1M、PASS (3M)
可変倍率

1倍、2倍、5倍、10倍、20倍、50倍

表示 4 ・ 1/2桁デジタル電圧表示
アナログ出力 ±10VDC
電源電圧 AC 100V 50/60Hz または DC24V 1.2A
使用環境 0~45℃ 20~85%RH(結露なきこと)
 
プラグインモジュール
モジュールNo. ATP201
光源 SLD (スーパールミネッセントダイオード) (λ=830nm)
ファイバープローブ長 1m (標準)
先端プローブ外形 (mmφ) 1.2
プローブ先端耐熱温度* 0~150℃
測定スポット径 (mmφ) 約0.1
測定範囲 (μm) 約20
作動距離 (μm) 約80
基本感度 (μm/V) 約2
※精度を保証するものではありません。
 
分解能の例(測定対象物がブロックゲージの場合)
カットオフ周波数 分解能(nmrms
3MHz 12nm
1MHz 7nm
100kHz 1.6nm
10kHz 0.3nm
1kHz 0.08nm
100Hz 0.06nm
分解能は、測定対象物の反射率に応じて変化します。
 

● ファイバープローブ長延長、先端曲げ加工など特注仕様のファイバープローブも製作可能です。ご相談ください。
● 上記特性は、平均的な数値を示しております。プローブ製作上のばらつきにより差異が生じることがあります

 

 

外形寸法

外形寸法


 

ご使用イメージ

測定対象物に測定プローブを近づけて反射率校正SWをONします。ディスプレイから数値が消え、校正モードになります。ディスプレイの指示に従って、測定ギャップを所定の範囲に合わせます。校正が終わると、自動的に測定モードに戻り、ディスプレイに数値が表示されます。

ご使用イメージ


測定プローブ先端部を測定対象物に近づけます。微動できるように微動ステージを設置することを推奨します。


ご使用イメージ


 
 

ダウンロード

製品カタログ 取扱説明書 外観図 サポート
ツール
ソフトウェア
GC2017
 
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