PM-E

光ファイバ方式振動変位計
 

製品概要

高精度な振動変位の計測が可能

光ファイバを介して測定対象物に光を照射し、その反射光を検出することにより変位や振動の変化を高速で非接触に行うことができる装置です。
光を利用して測定するため、測定対象物に全く負荷を与えることなく、かつ磁界や電界から影響を受けることもありません。
小型化と簡便性を追求した「PM-E」は、研究開発および各種産業分野での幅広い要求に応える製品です。

 

特長

■ 完全非接触で振動、変位、表面状態などの計測に幅広く利用できます
■ 電磁ノイズに強く、微小スポット測定が可能です
■ 低価格でメンテナンスが容易かつ迅速に行えます

仕様

アンプユニット
応答性 100Hz,1K,10K,200KHz切換え
表示 3 1/2桁デジタル電圧表示
アナログ出力 ±10VDC
電源電圧 AC 100V 50/60Hz
外形寸法 120W×53H×133.4D
 
プラグインモジュール
光源 タングステンランプ
ファイバー長 1m(標準)
ファイバーバンドル ランダム型、ハーフ型、同心型
 
プラグインモジュール特性表
プラグインモジュールNo. PM-05CE PM-15RE PM-15CE PM-30RE PM-30HE
プローブ外径(mm) 0.5 1.5 1.5 3.0 3.0
プローブスポット径(mm) 0.25 1.1 1.1 2.5 2.5
フロントスロープ特性
基本感度(μm/V) 14 14 62 14 220
リニアリティ(μm) 70 70 300 70 800
プローブセット間隔(μm) 70 60 380 60 950
バックスロープ特性
基本感度(μm/V) 70 600 220 600 850
リニアリティ(μm) 250 700 900 2000 3000
プローブセット間隔(μm) 450 1000 2000 1900 6000
光学ピーク位置 250 350 1250 500 4000
 
※上記特性は平均的な数値です。プローブの固有特性により差異が生じることがあります。

プローブ図面
ファイバー長UP、先端曲げ加工など特注ファイバープローブも制作可能です。御相談下さい。
PM-05E PM-15E PM-30E,HE
φA 0.5 1.5 3.0
φB 0.25 1.1 2.5
 

アプリケーション

ディスクランナウト測定:
ディスクランナウト測定:
磁気テープ振れ測定:
磁気テープ振れ測定:
回転振れ,振動モード測定:
回転振れ,振動モード測定:
種々の装置への組込み測定:
種々の装置への組込み測定:
PZT等の振動測定:
PZT等の振動測定:
ウエハー傷検出:
ウエハー傷検出:
位置決め制御:
位置決め制御:

測定原理

PM-Eは、光ファイバーを介して測定対象物に光を照射し、反射光を検出することにより、物体の変位を非接触で簡便に測定することができる装置です。測定対象物からの反射光量は、測定対象物と光ファイバープローブ端面間の距離(ギャップ)に対し下図のように変化します。このとき図中Ⓑ(フロントスロープ)およびⒹ(バックスロープ)の領域では、反射光はギャップに対してほぼ直線的に変化しますので、この領域を変位測定に利用します。
1台の装置で2つの変位検出特性を持つので、高分解能を必要とする測定にはフロントスロープを、広い測定範囲を必要とする場合にはバックスロープをご利用いただけます。また、Ⓐ(光学ピーク位置)は変位に対する感度が最も低いため、測定対象物の表面状態や欠陥などの検出にご利用いただけます。
測定原理

 

ダウンロード

製品カタログ 取扱説明書 外観図 サポート
ツール
ソフトウェア
DS
 
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