PM-S

光ファイバ方式マルチチャンネル変位計
 

製品概要

光ファイバセンサを複数個同一ラックに収納したマルチチャンネル変位計

光ファイバを介して測定対象物に光を照射し、その反射光を検出することにより変位や振動の変化を高速で非接触に行うことができる装置です。
光を利用して測定するため、測定対象物に全く負荷を与えることなく、かつ磁界や電界から影響を受けることもありません。
マルチチャンネル化に伴い、多点・多軸測定の簡易化を図ると同時に、コンパクト化や1チャンネルあたりのコスト低減を実現した汎用的な計測システムです。

 

特長

■ 完全非接触で振動、変位、表面状態などの計測に幅広く利用できます
■ 用途、場所、精度に応じてプローブを選択できるプラグイン方式を採用しています
■ 電磁ノイズに強く、微小スポット測定が可能です
■ 低価格でメンテナンスが容易かつ迅速に行えます

仕様

アンプユニット
応答性 100Hz,1K,10K,100KHz
アナログ出力 0~10VPC
電源電圧 AC 100V 50/60Hz
 
センサモジュール
光源 タングステンランプ
プローブ全長 1m
特注対応 曲げ加工、高温対応など
 

アプリケーション

ディスクランナウト測定:
ディスクランナウト測定:
磁気テープ振れ測定:
磁気テープ振れ測定:
回転振れ,振動モード測定:
回転振れ,振動モード測定:
種々の装置への組込み測定:
種々の装置への組込み測定:
PZT等の振動測定:
PZT等の振動測定:
ウエハー傷検出:
ウエハー傷検出:
位置決め制御:
位置決め制御:

■ 自動位置決めセンサーとしての応用
■ 超音波溶接機チップの振動測定

測定原理

測定対象面に対し光ファイバーを用いて光を投射する光反射方式を採用しています。投射した光は反射して同じプローブを通って電気信号に変換されます。光量は反射面からファイバー端面までの距離と共に図(C)のように変化します。使用するプローブによってそれぞれ一定の変位対出力の特性が得られます。特性はどのプローブもフロントスロープ及びバックスロープと呼ばれるリニアな範囲と光学ピークと呼ばれる部分をもっています。フロントスロープは微小な変位を高感度で測定する場合に最適で、バックスロープは比較的大きな変位を測定する場合に用います。光学ピークは一定の変位量を無視して測定対象面の表面状態や欠陥検出を行う場合に用いられます。さらに高い空中分解能と低いFナンバーを有する対物レンズを併用し焦点を結ばせることにより位置決めセンシング、遠距離測定などにも応用できます。

測定原理

  • 取扱説明書、製品外観図、サポートツール、ソフトウェアについては、ユーザー登録のうえ、ダウンロードしてください。
  • PDF形式のファイル閲覧には、adobe社のAcrobat Readerをインストールする必要があります。