PS-Ⅲ

マルチチャンネルPSセンサ
 

製品概要

研究用途からシステム組込みまで

PSセンサは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。

また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。

PS-Ⅲシリーズは、複数チャンネルを1台の筐体にまとめ、AC100Vで動作し、各種機能を盛り込んだPSセンサシリーズの決定版です。研究開発用途のみならずシステムへの組込みも可能です。

 

測定原理

PSセンサは、右図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は
式
の計算式で表すことができます。これを右図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は
式
となり、出力は測定ギャップに比例します。
PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。
原理画像

アプリケーション

アプリケーション例

 

仕様

ワンタッチで出力をゼロにするリセット機能、NEAR/FAR LED表示機、マルチチャンネル動作機能など、これ一台で様々な用途への応用が可能です。

アンプ仕様
型式 PS-Ⅲ
基本出力電圧範囲 0~10V
出力端子 BNCコネクタ
周波数特性 DC~1kHz
使用温度範囲 10~40℃
電源 AC100V(付属のACアダプタ使用)
 

表中の□□にはヘッド長さ(mm)が入ります。

型式 外径(mm) オフセット(μm) レンジ(μm) 分解能(nmrms) 直線性(%) プローブ長 ケーブル長
AX□□-30 4 10 30 0.6 ±0.05

5mm

10mm

30mm

標準2m

AX□□-50 10 50 1.0
AX□□-100 10 100 2.0
AY□□-50 6 10 50 1.0
AY□□-100 10 100 2.0
AY□□-250 25 250 5.0
AY□□-500 50 500 10 ±0.1
AZ□□-500 12 50 500 10 ±0.05

10mm

30mm

AZ□□-1000 100 1000 20 ±0.1

型式構成例


外形寸法
型式 PS-Ⅲ-3N PS-Ⅲ-2D PS-Ⅲ-5N PS-Ⅲ-4D
出力端子 BNC×3 BNC×2 BNC×5 BNC×4
寸法(mm) 186W×152H×331D 257W×152H×271D
表示器 なし あり なし あり
 
PS-Ⅲの型式は以下のように決定します。
アンプ形式 チャンネル数 表示器の有無
PS-Ⅲ 2以上 表示器有り・・・D
表示器なし・・・N
4チャンネル表示器付きの場合
PS-Ⅲ - 4 D
 

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