PS-IA-HS

高応答 静電容量型非接触変位計
 

製品概要

高応答・高安定・高分解能・静電容量型非接触変位計

PS-IA-HSは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高応答・高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。

多くの導入実績があり、高い評価を得ているPS-IAの応答速度を5kHzに高めました。従来、測定が難しかった高速な変位現象の測定を可能にします。


高応答 静電容量型非接触変位計
 

5kHzの高速応答

PS-IAの使いやすさはそのままに、応答速度が5倍になりました。

従来、測定が難しかった高速な変位現象の測定を可能にします。
回転物体のブレ測定やピエゾステージのクローズループ制御に最適です。

■主な用途
 ・回転物体のブレ測定(高速スピンドル、主軸、ハードディスクなど…)
 ・加締め、圧入時の変位・振動解析
 ・ピエゾステージのクローズループ制御
 ・高速・精密ステージの精密位置決めに!
 ・透明電極の表面検出に!

アプリケーション例

特長

DC24VまたはAC100Vで動作し、出力ゼロリセット機能、NEAR/FAR LED表示器、BNCアナログ出力のついたシングルチャンネルのアンプです。コンパクトでありながら多機能なシステムであり、研究開発用途から各種装置への組み込みなど、様々な用途に御使用いただけます。

■ 測定対象物ごとのキャリブレーションは不要!(測定対象物が導体であれば、感度は変りません)

■ 表面粗さの影響は受けません。高速に動く物体の変位も高精度に測定

■ 測定対象物が薄くても、導電体であれば測定可能

■ 測定領域はプローブの直径以下ですので位置分解能の高い測定が可能

■ 磁気や電磁誘導の影響は受けません

■ 標準測定レンジ30μm~1000μmの幅広いラインアップ

■ 高い直線性:±0.05%以下

豊富なセンサプローブ

豊富なセンサプローブ

特注対応いたします。お気軽にご相談ください。

測定原理

PSセンサは、下図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は
式
の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は
式
となり、出力は測定ギャップに比例します。
PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。
原理画像
 

仕様

ワンタッチで出力をゼロにするリセット機能、NEAR/FAR LED表示機、マルチチャンネル動作機能など、これ一台で様々な用途への応用が可能です。

型式 PS-IA-HS
基本出力電圧範囲 0~10V
出力端子 BNCコネクタ
周波数特性 DC~5kHz
使用温度範囲 10~40℃
電源 DC24V または AC100V
外形寸法 110W×30H×162Dmm
重量 380g(本体のみ)
 

プローブ内部には電子回路を含まないため、コンパクトなプローブにすることができます。真空対応など、特注対応も可能です。

型式 外径(mm) オフセット(μm) レンジ(μm) 分解能(nmrms) 直線性(%) プローブ長 ケーブル長
△X□□-30 4 10 30 3 ±0.05

5mm

10mm

30mm

標準2m

△X□□-50 10 50 4
△X□□-100 10 100 8
△Y□□-50 6 10 50 4
△Y□□-100 10 100 8
△Y□□-250 25 250 20
△Y□□-500 50 500 40 ±0.1
△Z□□-500 12 50 500 40 ±0.05

10mm

30mm

△Z□□-1000 100 1000 80 ±0.1

表中の△はケーブル出しのタイプ、□□はプローブ長(mm)

型式構成例

 

ダウンロード

製品カタログ 取扱説明書 外観図 サポート
ツール
ソフトウェア
GC2017
 
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