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PS-IA

静電容量方式非接触変位計

製品概要

PS-IAは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。

また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。

研究開発分野から半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、応用性のある高性能ツールとして多くの実績を重ねております。

上記は一例です。用途に応じた特注対応いたします。

DC24VまたはAC100Vで動作し、出力ゼロリセット機能、NEAR/FAR LED表示器、BNCアナログ出力のついたシングルチャンネルのアンプです。コンパクトでありながら多機能なシステムであり、研究開発用途から各種装置への組み込みなど、様々な用途に御使用いただけます。

■　標準測定レンジ30μm～1000μmの幅広いラインアップ

■　導体であれば材質により感度が変わらない

■　表面粗さの影響を受けない

■　高い直線性：±0.05％以下

■　低ノイズ：0.002％/FS（rms）以下

PSセンサは、下図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は

の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は

となり、出力は測定ギャップに比例します。
PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。

■　アンプ仕様

ワンタッチで出力をゼロにするリセット機能、NEAR/FAR LED表示機、マルチチャンネル動作機能など、これ一台で様々な用途への応用が可能です。

■　標準プローブ仕様

プローブ内部には電子回路を含まないため、コンパクトなプローブにすることができます。真空対応など、特注対応も可能です。

型式	外径（mm）	オフセット（μm）	レンジ（μm）	分解能（nmrms）	直線性（%）	プローブ長	ケーブル長
△X□□-30	4	10	30	0.6	±0.05	5mm 10mm 30mm	標準2m
△X□□-50		10	50	1
△X□□-100		10	100	2
△Y□□-50	6	10	50	1
△Y□□-100		10	100	2
△Y□□-250		25	250	5
△Y□□-500		50	500	10	±0.1
△Z□□-500	12	50	500	10	±0.05	10mm 30mm
△Z□□-1000	12	100	1000	20	±0.1	10mm 30mm