PS-IA
静電容量方式非接触変位計

製品概要

高安定・高分解能・静電容量型非接触変位計
PS-IAは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。
また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。
研究開発分野から半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、応用性のある高性能ツールとして多くの実績を重ねております。


特注プローブ対応例
上記は一例です。用途に応じた特注対応いたします。

静電容量型非接触変位計 PS-ⅠA 製品紹介動画

特長
DC24VまたはAC100Vで動作し、出力ゼロリセット機能、NEAR/FAR LED表示器、BNCアナログ出力のついたシングルチャンネルのアンプです。コンパクトでありながら多機能なシステムであり、研究開発用途から各種装置への組み込みなど、様々な用途に御使用いただけます。
■ 標準測定レンジ30μm~1000μmの幅広いラインアップ
■ 導体であれば材質により感度が変わらない
■ 表面粗さの影響を受けない
■ 高い直線性:±0.05%以下
■ 低ノイズ:0.002%/FS(rms)以下

アプリケーション例

測定原理
PSセンサは、下図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は

の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は

となり、出力は測定ギャップに比例します。
PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。
の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は
となり、出力は測定ギャップに比例します。
PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。


仕様
■ アンプ仕様
ワンタッチで出力をゼロにするリセット機能、NEAR/FAR LED表示機、マルチチャンネル動作機能など、これ一台で様々な用途への応用が可能です。
型式 | PS-IA |
---|---|
基本出力電圧範囲 | 0~10V |
出力端子 | BNCコネクタ |
周波数特性 | DC~1kHz |
使用温度範囲 | 10~40℃ |
電源 | DC24V または AC100V |
外形寸法 | 110W×30H×162Dmm |
重量 | 355g(本体のみ) |
■ 標準プローブ仕様
プローブ内部には電子回路を含まないため、コンパクトなプローブにすることができます。真空対応など、特注対応も可能です。
型式 | 外径(mm) | オフセット(μm) | レンジ(μm) | 分解能(nmrms) | 直線性(%) | プローブ長 | ケーブル長 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
△X□□-30 | 4 | 10 | 30 | 0.6 | ±0.05 |
5mm 10mm 30mm |
標準2m |
△X□□-50 | 10 | 50 | 1 | ||||
△X□□-100 | 10 | 100 | 2 | ||||
△Y□□-50 | 6 | 10 | 50 | 1 | |||
△Y□□-100 | 10 | 100 | 2 | ||||
△Y□□-250 | 25 | 250 | 5 | ||||
△Y□□-500 | 50 | 500 | 10 | ±0.1 | |||
△Z□□-500 | 12 | 50 | 500 | 10 | ±0.05 |
10mm 30mm |
|
△Z□□-1000 | 100 | 1000 | 20 | ±0.1 |
表中の△はケーブル出しのタイプ、□□はプローブ長(mm)

ダウンロード
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ソフトウェア |
