PS-IA

静電容量型非接触変位計
 

製品概要

高安定・高分解能・静電容量型非接触変位計

PS-IAは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。

また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。

研究開発分野から半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、応用性のある高性能ツールとして多くの実績を重ねております。

PS-ⅠA
 

IS-1A

 
 

豊富なセンサプローブ

豊富なセンサプローブ

特注対応いたします。お気軽にご相談ください。

静電容量型非接触変位計 PS-ⅠA 製品紹介動画


特長

DC24VまたはAC100Vで動作し、出力ゼロリセット機能、NEAR/FAR LED表示器、BNCアナログ出力のついたシングルチャンネルのアンプです。コンパクトでありながら多機能なシステムであり、研究開発用途から各種装置への組み込みなど、様々な用途に御使用いただけます。

■ 標準測定レンジ30μm~1000μmの幅広いラインアップ

■ 導体であれば材質により感度が変わらない

■ 表面粗さの影響を受けない

■ 高い直線性:±0.05%以下

■ 低ノイズ:0.002%/FS(rms)以下

アプリケーション例

アプリケーション例

測定原理

PSセンサは、下図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は
式
の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は
式
となり、出力は測定ギャップに比例します。
PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。
原理画像
 

仕様

ワンタッチで出力をゼロにするリセット機能、NEAR/FAR LED表示機、マルチチャンネル動作機能など、これ一台で様々な用途への応用が可能です。

型式 PS-IA
基本出力電圧範囲 0~10V
出力端子 BNCコネクタ
周波数特性 DC~1kHz
使用温度範囲 10~40℃
電源 DC24V または AC100V
外形寸法 110W×30H×162Dmm
重量 355g(本体のみ)
 

プローブ内部には電子回路を含まないため、コンパクトなプローブにすることができます。真空対応など、特注対応も可能です。

型式 外径(mm) オフセット(μm) レンジ(μm) 分解能(nmrms) 直線性(%) プローブ長 ケーブル長
△X□□-30 4 10 30 0.6 ±0.05

5mm

10mm

30mm

標準2m

△X□□-50 10 50 1
△X□□-100 10 100 2
△Y□□-50 6 10 50 1
△Y□□-100 10 100 2
△Y□□-250 25 250 5
△Y□□-500 50 500 10 ±0.1
△Z□□-500 12 50 500 10 ±0.05

10mm

30mm

△Z□□-1000 100 1000 20 ±0.1

表中の△はケーブル出しのタイプ、□□はプローブ長(mm)

型式構成例

 

ダウンロード

製品カタログ 取扱説明書 外観図 サポート
ツール
ソフトウェア
GC2017
 
  • 取扱説明書、製品外観図、サポートツール、ソフトウェアについては、ユーザー登録のうえ、ダウンロードしてください。
  • PDF形式のファイル閲覧には、adobe社のAcrobat Readerをインストールする必要があります。